二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9388215 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款設計用於半導體制造的高度先進的設備。它是一種蝕刻器/ascher機器，又稱化學機械拋光（CMP）裝置，旨在使半導體工程師能夠創造和開發工業前沿的微電子裝置。TEL INDYPLUS擁有六軸、高速、精密的機器架構，並且可擴展以增加吞吐量以應對特定挑戰。它利用具有高級流程功能和可定制參數的模塊化設計來實現所需的性能。它還可以配置特定的流程組件,使工程師能夠將系統與他們的特定需求相匹配。TOKYO ELECTRON INDY PLUS提供先進的AS控制單元，允許非常精細的過程調諧。這包括一個自動化的控制機器（也稱為ATF工具），在過程中提供更大的可控性和靈活性。該資產還具有高性能傳感器分析模型，可以檢測和記錄蝕刻和拋光過程的各種參數。TOKYO ELECTRON INDYPLUS由於其先進的冷卻設備計劃而提供了大批量生產和最小的停機時間。通過該系統,工程師可以實現流程自動化,減少人工幹預,提高生產率並提高產量。TEL INDY PLUS還具有先進的計量能力，允許準確和可重復的過程監控。高級計量方法如高分辨率二次電子顯微鏡（SEM）和EDX（模型）可用於監測蝕刻過程結果。總體而言，Indy Plus是一個蝕刻/輔助裝置，為工程師提供高度準確和可靠的半導體器件制造工藝。它的模塊化設計和可定制組件使用戶能夠將機器與他們的特定需求相匹配。高度先進的過程控制工具、自動化資產控制、冷卻程序和高級計量功能提供了準確和可重復的結果,使TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS成為市場上功能最廣泛的蝕刻器/ascher系統之一。