二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9389742 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是為半導體工業中的光刻和蝕刻工藝而設計的蝕刻器/asher。這種先進的蝕刻設備非常適合大批量生產IC設備。它提供高精度的陣列設計,具有多種尺寸到幾微米的特征。該系統具有很高的準確性和可重復性,它提供了一種經濟高效的方法來刻蝕復雜和復雜的組件並制作圖案。TEL INDYPLUS能夠蝕刻廣泛的材料，包括矽、二氧化矽、氮化矽以及其他用於IC制造的材料。它還可以有從亞微米到五微米大小的多種特征。此外,該單元還具有廣泛的可自定義參數,允許用戶磨練蝕刻過程以獲得每個應用程序的最佳結果。機器的主要部件包括三個基本要素：蝕刻器/灰化器、氣體輸送工具和泵機。蝕刻器/asher是用來將圖樣蝕刻到所需材料中的設備。蝕刻器/灰化器通過解離去除材料，與氫氣結合形成化學混合物，然後在蝕刻器/灰化器中加熱以加速蝕刻過程。氣體輸送資產負責用所需的氣體為蝕刻器/灰化器提供燃料。同時也保證了氣體在最佳濃度下的最佳蝕刻結果。泵機用於創建氣密模型，使氣體在輸送到蝕刻器/灰化器之前得到精確的測量和控制。TOKYO ELECTRON INDY PLUS是半導體工業中光刻和蝕刻工藝的理想選擇，因為它是一種功能強大、成本效益高的設備。憑借其精密的控制和精確的蝕刻效果，它可用於制造各種性能最佳的精密元件。