二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293627658 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是TEL製造的一款蝕刻器/asher設備，設計用於半導體、MEMS和納米技術行業的高生產速率和精密蝕刻工藝。該系統能夠高精度地蝕刻關鍵特性,並配備了自動化的過程控制特性,以提高穩定性和可靠性。TEL Indy Asher具有雙模工藝室設計，頂部和底部氣體分布，以實現最佳的工藝靈活性。上部工藝室用於沈積過程，並配有射頻發生器、淋浴噴嘴和加熱線圈。下腔用於蝕刻，配有射頻發電機和淋浴噴嘴。這使得沈積和蝕刻可以同時進行過程控制和監測，從而提高過程的可重復性和可重復性。TOKYO ELECTRON Indy Asher可以處理200 mm和300 mm晶圓尺寸，以及特殊尺寸如4「或8」。該機組還配備了智能負載控制室，能夠保持穩定的工藝條件，減少粒子產生。它還為線性和非線性蝕刻過程提供支持。Indy Asher機配備了高速級、自動對焦和XYZ-旋轉級等高精度運動控制系統，用於精確定位。一系列自動化的流程配方控制功能有助於提高流程吞吐量和提高產品質量。它還具有用於過程監控的觸摸面板以及用於作業跟蹤和生產記錄的高級數據存儲工具。為了確保工藝安全和可重復性，TEL/TOKYO ELECTRON Indy Asher配備了工藝和故障診斷、溫度控制系統和晶片逐晶片工藝控制。該資產還與一系列不同的氣體兼容，包括NF3、CF4和NH4ClF，以實現多層蝕刻和沈積。總體而言,TEL Indy Asher旨在提供復雜的工藝能力、準確且可重復的蝕刻工藝和可靠的工藝控制。它非常適合需要精密蝕刻的先進MEMS、半導體和納米技術應用。