二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293648515 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是專為半導體加工應用而設計的高性能擴散蝕刻器/asher。該設備具有高蝕刻速率、均勻性、重復性和關鍵工藝參數的精確控制等特點，在數字和模擬應用中均可實現卓越的半導體器件制造性能。TEL Indy設備可以配置為處理多種材料，包括矽、金屬、氧化物和氮化物，具體取決於應用。對於矽，系統能夠處理蝕刻速率範圍廣泛的厚膜，從µm到sub-µm，並且可以在整個晶片表面實現+/-5%的優越蝕刻均勻性。這些好處轉化為提高晶圓產量、提高吞吐量和降低生產成本。TOKYO ELECTRON Indy單元有兩種型號可供選擇,兩種型號都有很小的占地面積和模塊化設計,使它們易於集成到現有的半導體處理環境中。兩種模型的主要區別在於等離子體源，無論是RF/DC還是RF/microwave，使得它們適用於廣泛的底物和基於等離子體的過程。印地機配備了先進的安全功能，以保護操作員和環境，包括一個監控窗口、表面搜索傳感器以及具有除氧功能的排氣扇。軟件功能（如圖形操作工具和過程管理資產）可實現全模型自動化。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Indy設備的原位監控系統允許對晶圓參數進行實時分析，改善過程監控和管理。TEL Indy單元是半導體器件制造的一個強大工具,可以使需要對其器件設計進行可靠和精確處理的組織受益。該機具有先進的安全性和自動化功能,可提高產量,同時降低生產成本和確保環境安全。