二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293654427 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款下一代蝕刻器/asher設備，在蝕刻或灰化基板時為用戶提供精確、精確、可靠的性能。此功能強大的工具配備了TEL的最新技術,以確保在蝕刻/灰化過程中的最高性能。TEL Indy支持濕法和幹法蝕刻工藝以及灰泥和光化學工藝。這種提高的工藝靈活性使用戶能夠獲得他們的基材所需的精確蝕刻/灰度定義。TOKYO ELECTRON Indy設計了雙載荷鎖設計，允許同時載荷和卸載基板，以便更快的處理。此外，印地還提供了一個專利的「升降」晶圓運輸系統，用於安全去除和裝載基板。此功能可減少刮擦,並提供更好的處理精度。TEL/TOKYO ELECTRON Indy堅固耐用的三級真空渦輪泵,具有無油背襯和高通量,對於創新需要快速處理速度且底物損壞最小的工藝非常寶貴。TEL Indy擁有三區室設計，用於精確的溫度控制和統一的處理。高精度運動控制器為納米級蝕刻/灰化工藝提供了高精度和可重復性。TOKYO ELECTRON Indy還提供了一系列先進的自動化功能，包括用於支持和維護的遠程訪問、多陣列處理功能以及用於設備全自動運行的軟件。最後，Indy是唯一具有內置安全特性的蝕刻機/asher機。鋼架將整個工具封閉起來,最大限度地減少了設備的潛在危害.TEL/TOKYO ELECTRON Indy還擁有傳感器，用於監測潛在的氣體泄漏，並在發生危險情況時停止資產。總之，TEL Indy是需要高精度、精確度和可靠性的蝕刻和灰化基板的理想選擇。TOKYO ELECTRON Indy憑借其雙載荷鎖定設計、3區腔室、高精度運動控制器以及先進的安全特性，提供了業界最佳的蝕刻和灰化效果。
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