二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293658581 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一種最先進的自動化asher/etcher設備,旨在使半導體晶圓基板的蝕刻變得簡單高效。這種全自動系統能夠對各種晶圓材料和尺寸使用不同的蝕刻工藝（腐蝕、鈍化、光致抗蝕劑等），使其具有高度的通用性。其先進的功能包括一個計算機控制的前端，帶有一個材料處理平臺，一個用於導航和定位晶片的成像單元，以及一個用於蝕刻晶片的強大發電機。TEL Indy專為最大吞吐量而設計，具有多個工藝周期和快速晶圓傳輸時間，以及降低汙染速率，以確保晶圓被精確、快速、幹凈地蝕刻。該機工藝範圍大，晶圓尺寸從50毫米到300毫米不等。它設計用於處理最多三層塗層的晶片，允許對高性能材料進行蝕刻。分解蝕刻過程後，TOKYO ELECTRON Indy提供了一個快速簡單的過程，首先將晶片裝入卡盤，然後標記晶片表面進行成像。接下來,使用成像工具對齊晶片。這允許蝕刻過程開始，與強大的發電機和多個工藝周期以快速的速度蝕刻基板。過程完成後，晶片被卸載，準備下一步。Indy的自動化過程提供了更高的安全性。該資產采用工業級安全模式，包括一個籠子和一對安全屏障，以確保用戶在存在強酸和其他光刻化學品的情況下的安全。設備還包括緊急停止按鈕，以防發生意外失火。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Indy提供低維護操作，具有自動晶圓監控、自動更換噴嘴、自動工藝檢查等易於維護的特點。該系統還內置數據存儲，允許制造商存儲數據和質量檢查，以便進一步分析。TEL Indy因其先進的蝕刻能力和易於使用的設計，在半導體行業是一個無價的工具。該裝置的獨特特性使其成為精密高效蝕刻各種半導體晶片基板的絕佳選擇。