二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293751273 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款全自動蝕刻器/asher，設計用於經濟高效、高精度的加工。該設備用於半導體行業的一系列處理，包括抗灰化、氮化物蝕刻、氧化物蝕刻、聚蝕刻、金屬蝕刻和選擇性蝕刻。TEL Indy經過量身定制,可提供最佳性能、精度和可靠性,以滿足一系列工藝要求。TOKYO ELECTRON INDY最多可容納4個工藝室，可以容納金屬和介電層。這使得它適合各種工藝要求，包括石英蝕刻、聚抗蝕條、底物清洗、介電蝕刻。該設備還提供等離子體電源的選擇，包括射頻、PECVD和ICP電源。Indy的界面模塊具有易於使用的面板,允許使用一系列操作參數設置和警報。綜合潔凈室環境控制系統有助於保護設備免受汙染物汙染。TEL/TOKYO ELECTRON Indy采用深層反應離子蝕刻（DRIE）等技術,可以采用比傳統蝕刻方法更精細的特征尺寸進行蝕刻。TEL Indy附帶了一個集成配方管理單元，它允許存儲多個配方以實現流程可重復性。自動晶圓處理機也是為方便操作而設計的，提供了防止顆粒汙染的保護。TOKYO ELECTRON Indy以經濟實惠的價格提供高水平的性能和可靠性。它是半導體研究和制造中精密蝕刻的理想選擇。它也是抵抗灰泥、多蝕刻和濕蝕刻/等離子體蝕刻應用的理想選擇。印地是滿足半導體行業精密蝕刻需求的高效、經濟高效、可靠的解決方案。