二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293754737 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy（以下簡稱TEL Indy）是一種能夠進行氧化物蝕刻、多晶矽蝕刻、晶圓灰化的高端、高通量的蝕刻器/asher。TOKYO ELECTRON Indy是使用本地供應的3軸桌面室和業界領先的控制設備建造的。該腔室采用316級不銹鋼制造，底部和側面塗有陶瓷板，以確保最大限度的隔熱效果。在腔室內部，基板由一個專門的電拋光石英敏感器支撐，該敏感器配有一個熱板和三個電極，用於有效應用等離子體蝕刻。Indy擁有多種操作功能,可幫助簡化流程並提供全面的解決方案。該系統具有超高速負載鎖,可高效處理物料。精密的氣體輸送裝置可以完全控制流量、壓力、溫度和成分。此外，通用的工藝配方管理機器可以記錄多達20個參數，以確保一致和可重復的結果。該工具高效的等離子體源設計提供了低功耗、低運行成本和長壽命。這是通過使用經過優化的CW磁控管源和先進的傳感器技術來實現的。這確保了可靠的操作，同時減少有缺陷的基板排斥。TEL/TOKYO ELECTRON Indy還擁有一個具有實時過程控制的先進監控資產。這樣可以確保模型能夠跟蹤和優化整個過程,以確保獲得最佳結果。此外,實時溫度控制有助於保持目標溫度,並允許重復蝕刻,而不管起始溫度如何。該設備采用符合人體工程學的設計，便於操作。它具有經過優化的用戶界面,具有直觀的顯示和簡化的控制面板。TEL Indy還支持各種數據分析和日誌功能，以滿足高水平的統計過程控制要求。總之，TOKYO ELECTRON Indy 蝕刻器/asher在氧化物蝕刻、多晶矽蝕刻和晶圓蝕刻方面提供了卓越的性能和可靠的效果。其先進的特性和創新的設計使其能夠不斷地處於涉及這些材料的工藝的最前沿。