二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293757742 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是為生產半導體器件而設計的高度先進的蝕刻器/asher。蝕刻器/asher的設計使用戶能夠快速高效地以高精度和精確度蝕刻和磨損基板。TEL Indy配備了用於高級成像的高分辨率、快速掃描電子顯微鏡（SEM）。12掩碼對齊器構成掃描系統的一部分,以便可以在基板內成像單個對齊標記。TOKYO ELECTRON Indy可以毫不費力地蝕刻和粉刷尺寸從5mm到200 mm的設備。該蝕刻器/灰化器配備了用於蝕刻和灰化過程的高精度氣體輸送系統。TEL設計了Indy,為各種特定應用程序提供完美的蝕刻和粉刷工藝。蝕刻和粉刷過程非常精確,可以一致地產生所需的材料。單層、雙層和多層都是使用精密的TEL/TOKYO ELECTRON Indy容易產生的。TEL Indy設計具有多種高級特性,可用於質量控制。利用自動特征分析功能對單層特征和雙層特征進行實時晶圓分析和表面檢查。TOKYO ELECTRON INDY附有Advanced Leak Detection System （ALDS）功能，這意味著如果有任何粒子進入蝕刻層，蝕刻過程將停止。內置冗余功能還有助於確保最高質量的基板生產。印地還采用了自動化晶圓移動系統，該系統的設計提供了快速快速的生產。蝕刻器/asher的設計使晶片的高精度、高速生產成為可能。自動編程和操作功能允許用戶設置一系列優化的晶圓生產周期。自動晶圓定位器還便於晶圓加載、卸載和跟蹤。綜上所述，TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款高度先進的蝕刻器/asher，其設計提供快速高效的蝕刻和灰化工藝，具有高度的精確度和精確度。TEL Indy的設計具有自動分析、編程和跟蹤的功能，以確保半導體基板的質量生產。