二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293758841 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一種蝕刻器或asher，是一種用於在各種表面上條紋和創建圖樣的設備。廣泛應用於半導體的微加工和納米加工、光刻、數據存儲以及多種其他材料。TEL Indy采用兩階段掃描系統構建。第一階段為高解析度蝕刻和灰化單元，第二階段為低解析度蝕刻和灰化單元。此外，它還可用於清潔和薄膜沈積過程，如濺射蝕刻沈積。TOKYO ELECTRON Indy還具有進行原位清洗的能力，這意味著該裝置不必停止手動清洗。這臺用途廣泛的機器具有大量的功能，可以精確控制蝕刻參數和工藝。印地包括一組智能蝕刻和清潔算法，能夠方便準確地選擇適當的蝕刻條件。它還使用戶能夠指定所需的掃描次數、蝕刻深度、蝕刻速率和蝕刻環境。該系統還提供了幾個層次的計算機輔助設計，以進一步定制蝕刻特性和參數。TEL/TOKYO ELECTRON Indy收集的數據實時更新，使用戶可以在較長時間內存儲和監控蝕刻結果。此數據可用於長時間監視流程,以檢測流程參數中的任何有害波動。如前所述，TEL印地也可用於進行濺射蝕刻和沈積。在濺射蝕刻中，表面的一小部分被選定氣體的離子轟擊。這會沖擊目標材料，導致顆粒破裂，在表面上形成材料薄膜。TOKYO ELECTRON Indy是一種強大的蝕刻工具,可以精確控制蝕刻過程。該系統具有強大的性能和卓越的精確度，可幫助微加工和納米加工實驗室輕松實現理想的效果。