二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293821710 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一種蝕刻器/asher，用於從基板或基板表面去除不需要的材料。它是一種計算機控制的機器，分為蝕刻室、背面和過程控制與通信三個主要部分。蝕刻室是進行蝕刻過程的地方。它是一個氣態大氣密封的腔室，可以定制以滿足操作員所需的特定蝕刻要求。過程氣體通過架空氣體出口流入腔室，而基板則使用散裝晶片裝載機轉移到腔室。蝕刻過程可以通過工藝許可控制，控制溫度、壓力、等離子體功率等參數。蝕刻器/asher的背面是過程控制發生的位置。由控制器、電源、熱電偶、真空泵等系統部件組成。控制器與控制蝕刻過程的計算機通信，並根據操作員的指令對過程參數進行調整。電源為蝕刻過程提供電力，而熱電偶和真空泵監控並維持蝕刻室內的溫度和壓力。蝕刻過程還需要過程控制和通信。連接到蝕刻器的系統可以與主過程控制計算機和其他系統組件進行通信。這是通過RS-232、Profibus和TCP/IP等通信協議完成的。它還允許操作員查看和修改蝕刻參數,並監視網絡上的蝕刻過程。總體而言,TEL Indy是一種高效的蝕刻器/asher,可提供對蝕刻過程的精確控制。它能夠用各種不同的蝕刻氣體蝕刻各種類型的基材，從而能夠生產出精確精細的產品。此外,它的過程控制和通信功能使操作員能夠最大限度地提高產品質量並縮短加工時間。