二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293824557 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款先進的半導體器件制造蝕刻器/asher。它為高長寬比蝕刻和灰化工藝提供了先進的專業化。對於精密蝕刻和灰化，TEL Indy配備了三個可單獨控制的獨立蝕刻/灰化源，以及激光幹涉級導航，提供了更大的重復性和改進的制造效果。TOKYO ELECTRON Indy具有最大過程壓力10Torr、最大射頻功率2MHz和數字阻抗控制單元，便於精確控制偏置電位。Indy還通過其廣泛的模具配置和創新的定向控制功能提供了卓越的靈活性。這樣可以更好地控制各種形狀、尺寸和材料上的蝕刻或灰化應用程序。TEL/TOKYO ELECTRON Indy與多種工藝氣體和底物兼容，進一步增強了滿足具有挑戰性的蝕刻/灰化要求的能力。此外,TEL Indy的多工藝室設計優化了不同工藝之間的分離,從而實現了更高的吞吐量和更長的刀具正常運行時間。總體而言,TOKYO ELECTRON Indy是一款高級、高度專業化的蝕刻器/asher,可為各種蝕刻和灰化應用提供最佳性能。