二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9121067 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款先進的蝕刻器/asher，提供最佳的加工性能、高吞吐量和出色的均勻性以及廣泛的工藝範圍，從而實現了高質量和可靠的生產。此設備提供了一個可調、全自動的平臺,以及各種蝕刻、添加和剝離過程（包括RIE、CVD和Sputter進程）,使其非常適合任何工藝要求。它配備了先進和可定制的PLC控制設備，用於控制工作流程，通過自動化系統維護和預防功能確保穩定運行。TEL Indy還設計了更大的操作便利性和靈活性，具有易於調整的參數、自動過程條件設置以及易於使用的遠程維護功能。TOKYO ELECTRON INDY擁有高性能的蝕刻/asher單元，最大蝕刻速率為40 μ m/min，空間分辨率為5 μ m，工藝範圍從30kHz到10GHz。此外,它的快速響應時間有助於實現高吞吐量,並提高了逐行7MHz的重播率。該機還具有進行多方向蝕刻和灰化的能力，具有四向監控能力，非常適合制作精細圖案和小特性。此外,Indy還具有高級安全功能,包括避險系統、防止錯誤和幫助降低風險。該工具符合SEMI S2等環境安全標準，並兼容多種氣體輸送系統。TEL/TOKYO ELECTRON Indy創建時采用了先進的機器學習技術,在過程可重復性和生產靈活性方面具有非凡的能力,同時最大限度地減少了停機和維護。其高性能能力使其能夠為研究和生產中的多種工藝提供有效可靠的生產解決方案，而其高精度使其適合於半導體、MEMS和IC器件制造中的應用。