二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9137330 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款針對高縱橫比各向異性蝕刻等高級工藝而設計的蝕刻器/asher。該蝕刻器具有高速射頻發電機、高功率、低離子轟擊和高度控制的特點。它能夠對矽、不銹鋼、銅、玻璃等各種材料進行復雜、高精度的蝕刻程序，以及廣泛的工藝參數，如晶圓尺寸、蝕刻速率、選擇性等。TEL Indy還提供優秀的薄膜沈積特性。先進的渦輪分子泵送系統確保了最大的工藝能力，而寬敞的腔室容積與先進的內部部件結合，可以同時處理多種長寬比大的基板。其幹凈的設計提供了廣泛的工藝參數，並且可以配置為適合不同的應用。TOKYO ELECTRON Indy的特點是等離子體均勻，能蝕刻小寬度、高長寬比。適用於納米圖案、溝槽蝕刻等薄膜的蝕刻，適用於單晶片和多晶片工藝。印地可以實現比其他技術明顯更高的蝕刻速率，並且設計為提供高度的工藝控制和靈活性。其持久的組件可最大程度地減少維護和停機時間,以保持高吞吐量。TEL/TOKYO ELECTRON Indy還提供了廣泛的後處理功能，如氧氣或氮氣突破監測、離子分析系統和CCD相機監測，以及端點檢測的多種選項。此外,還提供高性能診斷系統以實現快速故障分析。總之，TEL Indy是一種針對高縱橫比各向異性蝕刻等先進工藝而設計的優秀蝕刻器/asher。它提供了廣泛的過程參數、後處理功能和故障分析工具,並且其持久的組件最大程度地減少了維護和停機時間,以保持高吞吐量和高生產率。