二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9141006 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一種高分辨率蝕刻設備,可最大限度地提高半導體生產過程的產量和吞吐量。該系統設計用於處理大多數類型的散裝和器件級基板，如矽、玻璃和不銹鋼。TEL Indy單元提供了增強的圖像分辨率和蝕刻精度，使用了先進的光學器件、氦硼激光源和冷凍幹燥機，以盡量減少顆粒汙染。該工具采用模塊化設計,可互換刀頭,便於在蝕刻和蝕刻清潔應用程序之間進行切換。集成軟件允許用戶以任何指定模式自動調整每個晶片的功率、速度和電壓設置。該資產還采用了氫氟二極管（HFC）技術，旨在為蝕刻提供精確可靠的深度控制。氫氟碳化合物模型混合惰性氣體，在整個晶圓表面實現均勻蝕刻，同時抑制等離子體發射。用於TOKYO ELECTRON Indy蝕刻系統的刀頭提供了無與倫比的精確度和分辨率，使圖樣的精確分辨率降至10nm。刀頭可以用不同的墨盒型元件來自訂，包括vio-tools、光刻膠旋轉器和金屬蒸發源。此外,Indy設備還利用集成的過程中傳感器實時監控關鍵流程參數,如氣流、溫度和功率級別。這些傳感器的設計目的是檢測任何過程的變化之前，他們變得顯著足以影響產量。TEL/TOKYO ELECTRON Indy蝕刻系統還支持一系列功能，包括用於凹槽蝕刻的低溫蝕刻模式、用於大體積過程的快速蝕刻模式以及用於預測和防止可能的晶圓像差的異常檢測功能。除了提供卓越的蝕刻性能外,TEL Indy設備還提供高速率處理能力、高吞吐量和卓越的均勻性。TOKYO ELECTRON Indy具有全面的特性和功能,是為您的蝕刻生產過程提供動力的理想選擇。