二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9244851 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款先進的蝕刻設備，對蝕刻過程提供精密的控制。利用先進的技術，TEL印地能夠以高度的精確度和可重復性蝕刻各種基材。TOKYO ELECTRON Indy利用一個可升級的平臺來產生可能針對特定應用程序和層厚度量身定制的蝕刻結果。精密蝕刻平臺基於集成的多級模葉沈積蝕刻單元，由高分辨率場發射槍、真空室、控制電路和專有噴射控制系統組成。該單元允許精確控制一些關鍵蝕刻參數，如材料劑量、劑量率、噴嘴壓力、蝕刻時間和厚度精度。它還提供了屏幕上的個人程序規範和蝕刻配方庫，在調整蝕刻參數方面提供了最大的靈活性。Indy的計算機控制、自動化的蝕刻過程最大程度地減少了人為錯誤,使其具有很高的成本效益和可靠性。該計算機使用基於Windows的軟件,提供用戶友好的界面和多種操作模式,允許使用不同的蝕刻速率、處理時間和層厚度。該工具能夠設計形狀蝕刻和傳導塊蝕刻，以及氣隙蝕刻和CMP工藝。它還提供卓越的P-VDF基板兼容性，允許使用幾乎任何類型的塗層。TEL/TOKYO ELECTRON Indy還配備了高精度的溫度和壓力控制資產，為蝕刻工藝提供了進一步的精度和優化。利用TEL專有的原位溫度可調諧磁控管濺射技術，可以設置TEL印地，為不同材料和層的最佳蝕刻性能。Indie提供多種配置,如手動或自動加載、IC流程、批處理或單基板自動化以及CMP操作,可提供無與倫比的多功能性,並能夠滿足大多數蝕刻需求。TOKYO ELECTRON Indy的模塊化設計和工程允許輕松升級並與其他組件和現有基礎架構集成。此外,模型的冗余特性為關鍵工業環境提供了更高的可靠性。憑借其卓越的精確度和自動化,Indy是要求苛刻的蝕刻工藝的理想選擇,其工藝可靠性和可重復性使其成為可靠、經濟高效的選擇。