二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9245343 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一種蝕刻器/asher，用於制造多種設備，包括集成電路芯片、顯示器、傳感器和太陽能電池。它是一種以提供精確可靠的蝕刻和灰化處理而聞名的最先進的工具。TEL Indy 蝕刻器/asher具有一個狹窄的、深層的等離子體噴嘴，該噴嘴分配調節的等離子體能量，在包括低k基板在內的各種材料中產生深層蝕刻或清潔過程。狹窄的噴嘴和低感應耦合使各向異性蝕刻或清潔過程具有很大的深度和優異的選擇性。TOKYO ELECTRON INDY Etcher/asher有一臺能提供最大1 kW的大功率脈沖等離子體發生器，而其創新的多組件集成控制器和SECS-GEM軟件則允許使用計算機控制的數據參數和可編程配方自動處理基板。此外，各種加工氣體也可用於各種用途。Indy 蝕刻器/asher配置了兩室設計,可提高生產效率,並在生產環境中處理設備時實現更高的一致性。發電機由微波源、射頻發電機、配電和氣體輸送系統組成。控制器和軟件兼容MFC、質量流控制器、微控制器、PC網絡和晶圓墊等I/O設置。TEL/TOKYO ELECTRON Indy 蝕刻器/asher的其他優點包括柔性腔室配置、兩種不同類型的輸入功率（AC或DC）的選擇及其與標準TEL工藝控制接口的兼容性。該機堅固小巧,安裝方便,空間配置高效.以可靠性、準確性、可重復性和靈活性著稱的TEL Indy 蝕刻器/asher是滿足現代工業需求的理想多合一處理技術。其成本效益和簡單的維護使其成為蝕刻和灰化應用的首選設備。