二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9276770 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是由TEL（TOKYO ELECTRON）設計製造的蝕刻器/asher。它是專為使金屬和聚合物薄膜等材料在基板上的選擇性蝕刻和沈積，並產生一層受控的材料而設計的。TEL Indy采用模塊化設計，主要由三個部分組成：蝕刻室、沈積單元和清潔單元，裝在真空室中。蝕刻室由陽極氧化鋁制成，用於釋放氣體和引入化學物質進行蝕刻。沈積單元由不銹鋼制成，用於在晶片上沈積薄膜。清潔單元由拋光的不銹鋼制成，由多個噴嘴和腔室組成，可用於幹濕清洗。TOKYO ELECTRON INDY具有廣泛的控制參數，包括壓力、溫度、氣體流量和時間，以確保進行精確的蝕刻和沈積。此外,Indy還利用多種安全功能（如多個壓力開關、氣體變阻器和互鎖）,以確保最佳性能和安全性。TEL/TOKYO ELECTRON Indy擁有一個獲得專利的獨立真空系統，可確保腔室的完整性並防止材料泄漏。系統還具有遠程監控功能，允許用戶遠程監控和調整系統參數。TEL Indy采用多種半導體蝕刻沈積技術，如電子回旋共振（ECR）電弧蝕刻、電子束蒸發（EBE）沈積和物理氣相沈積（PVD）沈積。它還配備了一系列配件，如反作用室、泵和負載鎖，以方便各種蝕刻和沈積過程。TOKYO ELECTRON Indy設計具有高度的多功能性，使用戶能夠蝕刻和沈積包括矽、鋁和半導體薄膜在內的多種材料。總之，印地是一種高度先進的蝕刻器/asher，專門為材料的選擇性蝕刻和沈積而設計。它具有廣泛的控制參數和多種安全功能,以確保最佳性能和安全性。此外,它的模塊化設計、一系列附件以及通用的半導體蝕刻和沈積功能使其成為各種蝕刻和沈積應用的理想工具。