二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9311033 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy（熱蝕刻/灰）是東海電子研發的一款高端幹蝕刻/灰設備。它具有低壓化學蝕刻工藝，適用於Si、SiO2、SiN、SiC、SiGe、WAS、MET、聚合物等多種基材的熱蝕刻。該系統具有出色的工藝控制,通過工藝監視器設置和監控溫度配置文件。其Pyrocordon蝕刻器具有出色的蝕刻參數範圍，允許對薄膜和厚膜進行優化蝕刻。TEL Indy帶有幾個蝕刻室,能夠對各種材料進行蝕刻。該單元還包括一個接近蝕刻器，它允許蝕刻更小，更復雜的圖樣和特征。機器還具有各種選項,以確保最高的進程可重復性。工藝晶片跟蹤和位置控制都有助於蝕刻工藝的重復性。該工具還包括安全工程的各種選項，例如用於增強安全性的氣流百葉窗。總體而言，TOKYO ELECTRON Indy熱蝕刻/灰分資產允許對各種基材進行高精度蝕刻。其堅固的設計、可靠的工藝控制以及眾多的高精度蝕刻選項使模型成為制造高性能電子設備和組件的高度可靠的工具。