二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9311184 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款卓越的蝕刻/灰分設備，為非常復雜的內存芯片和半導體器件制造提供精確的蝕刻/灰分工藝控制。該系統采用先進的陣列設計技術,能夠使用各種不同的材料類型和幾何形狀進行蝕刻或灰化。它提供了關鍵的工藝功能,如可變蝕刻/灰分工藝控制、設備階段掃描、基板階段精度控制和自動缺陷檢測。該機能夠處理矽、的、的、的、的等底物。所有材料類型都可以蝕刻或灰化,而無需任何外部硬件。該機配備了觸摸屏前面板以及多種安全和過程監控功能。它具有直觀的圖形用戶界面，所有必要的功能和選項都以清晰和有組織的格式排列。設備配有一系列蝕刻/灰燼工藝控制參數，包括可調節電壓、功率、壓力和電流。它有幾個傳感器和測量設備，用來測量蝕刻或灰化過程的各種質量，例如壓力、電流和溫度。這些測量可以優化不同基材材料和幾何形狀的工藝。TEL Indy擁有先進的單元控制和通信架構，提供對命令的快速響應。低噪聲機還具有抗振技術，有助於在蝕刻/灰燼過程中保持高精度。此外，這些設備可以有效地實現自動化，與人工操作相比節省了相當多的時間。該工具設計用於處理大批量生產，容量為每小時80至160個晶圓。此外，幹燥蝕刻室和asher室的並行配置允許增加吞吐量，進一步減少了整體處理時間。還可以通過更改幹蝕刻和asher配置來增加正在處理的晶片的數量。TOKYO ELECTRON Indy是一種先進的蝕刻/灰分資產，設計用於復合基板的制造。該模型提供精確的蝕刻/灰分工藝控制,允許生產優質產品。可變過程控制、自動化、高通量等先進特性的結合，使設備成為復雜基板制造的理想選擇。