二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9311326 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一種蝕刻器/asher，設計用於快速蝕刻和瀝青大量材料。該設備采用多矽層沈積室構成，提供高效的晶圓處理吞吐量。這種腔室可以被修改以蝕刻廣泛的沈積材料，例如矽、​​和氧化鋁。TEL Indy的自動化設備旨在快速準確地控制蝕刻過程，使制造商能夠節省時間並提高精度。晶圓轉運站也並入其中，最多可裝載100個晶圓，直接放置到適當的蝕刻模塊。這使得晶圓處理速度比手動傳輸系統更快。TOKYO ELECTRON Indy是一個強大的蝕刻平臺，對蝕刻工藝有優越的控制。它利用突破性和前沿蝕刻技術來持續地高速蝕刻材料。工藝控制系統提供精確的蝕刻深度測量,確保制造商能夠創建精確蝕刻和瀝青化的產品。其硬件集成在緊湊的機器中，提供廣泛的晶圓處理能力。內置的均勻性控制單元確保該設備將提供改進和一致的基板性能。這臺機器能夠幫助消除錯誤和耗時的過程。印地線的工程提供了一個堅固的蝕刻室，可以適應特定於蝕刻過程的壓力要求。腔室底板設計為完全閉合，會發生微不足道的機械泄漏。蝕刻氣體入口模式緊跟單個晶片蝕刻器設計所需的過程。將蝕刻氣體註入腔室由包含的蝕刻供應控制，從而實現了最佳工藝。該工具還采用了完整的排氣過濾，允許使用清潔的蝕刻氣體。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Indy 蝕刻器/asher是一種功能強大、高效、可靠的工具，用於快速蝕刻和瀝青大量材料。自動化的過程控制資產有助於節省時間、提高準確性和減少錯誤。該裝置采用多矽層沈積室，可提供高效的晶圓處理吞吐量。蝕刻氣體入口模式和完整的排氣過濾也有助於設備的性能。所有這些特性的結合使其成為各種蝕刻和瀝青材料的絕佳選擇。