二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379783 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一種在半導體工業中提供精確且可重復的蝕刻和灰化工藝的蝕刻器/灰化器。它是一種低壓、快速熱化學氣相沈積（CVD）蝕刻器/灰化器，帶有閉環控制設備，設計用於減少蝕刻步驟中的斷裂。TEL Indy專為一系列工藝而設計,包括蝕刻和灰化、柵極介電蝕刻、金屬蝕刻、CMP去除、SiO2/SiN蝕刻和晶體管柵極氧化。TOKYO ELECTRON Indy具有高度的自動化和溫度控制，允許精確的蝕刻和灰化過程。它具有跨多個晶片的高度等離子體均勻性，還提供基於時間和端點的控制選項。Indy的CVD蝕刻/灰化等離子體腔室每個工藝最多可容納25個晶圓，具有廣泛的工藝參數以滿足用戶的要求。TEL/TOKYO ELECTRON Indy的高級LDE （Learn-Data-Execution）軟件允許用戶通過調整工藝參數來適應用戶定義的要求來自定義蝕刻和灰化工藝。系統會自動將最佳流程配方存儲在數據庫中,從而允許在流程和可重復結果之間快速切換,且用戶輸入最少。TEL Indy利用氣體輸送裝置，可以對所有CVD蝕刻/灰化氣體進行精確的流量控制和監測。這臺機器還允許將惰性氣體引入腔室，以降低反射沈積。蝕刻器/asher還具有用戶友好、易於使用的圖形用戶界面（GUI）,它以直觀的格式提供流程數據,並允許對流程參數和吞吐量進行故障排除和監控。總體而言，TOKYO ELECTRON Indy是一款先進的蝕刻器/asher工具，旨在為半導體行業提供高效、精確的工藝。其先進的LDE軟件、閉環控制資產、高度自動化和溫度控制以及氣體輸送模型，使其成為各種半導體蝕刻和灰化工藝的理想設備。