二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379803 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款蝕刻器/asher，采用先進精確的技術設計，以滿足當今半導體生產的需要。它配備了高質量的蒸氣源，能夠提供高達每分鐘10微米的蝕刻速率。蝕刻器/asher具有自動輪廓控制功能,可實現高度精確、均勻的蝕刻過程。它旨在與所有類型的蝕刻和灰化氣體兼容，包括CO2、CH4、SiH4、CF4、CH2F2和SF6。該蝕刻器/asher被編程為提供高級半導體器件制造所必需的具有均勻性和工藝精度的卓越工藝可重復性。它具有獨特的自動反饋設備，可以不斷監控溫度和壓力，以保持最佳的蝕刻工藝參數。這種高效的系統有助於消除與溫度和壓力波動有關的問題。在安全方面，蝕刻器/粉碎器的設計采用了一系列預防措施，以保護技術人員不受危險材料的影響。這些措施包括安全驗證和關閉系統，以及自動壓力控制單元。此外，幹側惰性氣體機有助於去除室內的蝕刻/灰分殘留物。TEL Indy專為滿足高級蝕刻和灰化應用的需求而設計。其先進的特性使得這種蝕刻器/asher非常適合精確、精確地制造高度先進的半導體器件。它旨在在優化循環時間的同時保持過程的可重復性和控制參數。憑借其卓越的特性,蝕刻器/asher為當今的大批量半導體生產線提供了直觀可靠的解決方案。