二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379806 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款為復雜的先進半導體加工而設計的蝕刻器/asher。該設備能夠處理直徑不超過十二英寸的晶片，可以處理光電化學沈積、蝕刻和抗剝離等多種應用。它裝有自動化的過程控制功能，一次最多可容納四個晶圓。蝕刻器使用激光誘導放電等離子體（LIDP）源運行，該源用於將材料沈積到基板上形成器件層。蝕刻器能夠使用各種氣體進行操作，包括Ar、CF4、PTFE、O2和CHF3。LIDP等離子體源具有四個級別的功率，可以根據應用對不同蝕刻過程進行控制。TEL Indy還具有用於調節功率和氣體流量的高分辨率控制模塊。這提供了更精確的過程控制結果，使TOKYO ELECTRON Indy能夠處理更復雜的應用要求。印地還配備了先進的安全系統。這包括對電源功率水平以及氣流和壓力設置的安全檢查。該裝置還配備了一個被動安全閥，用於檢測操作過程中可能發生的任何氣體泄漏。此外,該機器還配備了互鎖設備,其設計目的是在未啟用任何安全設置的情況下防止設備啟動。TEL/TOKYO ELECTRON Indy的腔室設計具有創新的外形，確保了最佳的均勻性，最大限度地提高了蝕刻工藝效率。蝕刻器還具有低剝離速率,可確保蝕刻結果的質量最高。這種低剝離率還旨在防止過程中的任何汙染。TEL Indy是一款具備高級功能的多功能蝕刻機。其模塊化設計使其適合各種蝕刻應用。它對蝕刻和沈積過程有很好的控制，可以處理復雜的要求，同時提供優異的效果。該工具具有安全功能,在操作過程中最大限度地提高安全性並防止汙染。它一定能提供可靠和準確的結果。