二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9381806 待售
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單擊可縮放
ID: 9381806
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
LPCVD Furnace, 12"
Process: DCS-MTO
Rapid cooling unit
Pump box
Power box
VOS-56-101P Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: STEC
MAIN / APC: CKD
Load lock system
Storage
Front panel signal tower
Carrier transfer
FIMS Port
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Operating system: Linux V2.13
Utility box:
WAVES Controller
GFC Panel
Operation panel
Data I/O
Gas unit
Cooling unit
APC Controller
Temperature controller
Vacuum line
Load port:
I/O FFU
Side FFU
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Power box:
EMO Unit
Control board
Hardware switch
Transformer
SCR Unit
N2 Purge unit
RCU Unit
Gases:
SiH4
SiH4Cl2
N2O
NH3
Missing parts:
QUARTZ Wares
Scavenger
Manifold
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Power supply: 440/208 V
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy是一款可靠的asher/etcher設備，設計用於對各種材料進行精確的大規模蝕刻。該系統具有先進工藝技術和技術平臺的集成來源，提供卓越的蝕刻性能。這允許在高精度上蝕刻半導體、半導體芯片、有機基板、薄膜等多種材料類型。該單元配有一個可編程機器人控制器，用於精確的移動和控制，使精確蝕刻甚至復雜的圖樣。該機器能夠支持多種工藝配方，如單層蝕刻、多層蝕刻、AutoClick和多掩碼蝕刻。這些功能結合在一起,為用戶提供了具有多種工藝功能組合的完整蝕刻解決方案。該工具還具有集成的自動清洗功能,可快速高效地清洗蝕刻室,確保性能一致。此外，這項資產還能夠使用氙氣、氮氣和氧氣進行蝕刻應用。該模型還提供了針對過程汙染的高效保護，具有高純度環境、高效的氣體輸送設備和先進的控制算法。這允許最大限度地提取加工化學品，同時將汙染率降至最低。除了安全蝕刻性能外，系統還附帶多種附加功能，如全面的用戶界面、高達其他設備媒體速度的兩倍，以及與各種材料的兼容性。該單元還具有實時監控功能，允許用戶現場監控不同材料的蝕刻速率，以及一系列警報來檢測蝕刻條件的任何意外變化。總體而言,對於需要可靠、高效和全面蝕刻解決方案的用戶而言,TEL Indy 蝕刻器/asher是一臺理想的機器。TOKYO ELECTRON Indy憑借其用戶友好的界面、支持廣泛蝕刻配方的能力以及先進的功能，是各種蝕刻應用的理想選擇。
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