二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT #293734290 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT是為先進半導體制造工藝而設計的高性能蝕刻/asher設備。這款尖端工具結合了蝕刻和灰度處理功能,可提供高通量和可重復性的各種材料的精確、均勻處理。TEL MB2-730 HT-HT的關鍵特性之一是其高溫操作能力，允許處理矽、二氧化矽、氮化矽等多種具有挑戰性的材料，以及各種金屬層。該系統配有一個高溫腔室，可以達到400°C的溫度，能夠在不損害正在加工的材料完整性的情況下進行積極的蝕刻和灰化處理。TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT利用先進的等離子體處理技術，在大型基板尺寸上實現了優異的選擇性、蝕刻速率控制和均勻性。該單元采用雙頻射頻等離子體源，提供等離子體參數的精確調諧，針對不同材料堆棧和工藝要求優化蝕刻和灰化性能。雙頻設計確保了有效的離子能量控制，並最大限度地減少了加工過程中對敏感設備結構的損壞。MB2-730 HT-HT配備了支持單晶片和批處理模式的大容量晶片處理機，適合批量生產環境。該工具具有高度可配置性,可以使用多個流程模塊、氣體註入系統和端點檢測功能進行定制,以滿足特定的客戶需求和流程需求。在工藝靈活性方面，TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT為介電蝕刻、金屬蝕刻、抗蝕劑剝離、聚合物去除等多種應用提供了廣泛的蝕刻和灰化配方。該資產具有高級流程控制算法和實時監控功能,可實現精確的流程參數優化和改進的流程可重復性。此外，TEL MB2-730 HT-HT還結合了氣體監測系統、過溫防護和聯鎖機制等先進的安全功能，以確保操作安全，防止加工過程中的潛在危害。該模型還包括一個用戶友好界面，具有直觀的軟件控制和數據記錄功能，以便於操作和過程監控。總體而言，TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT是一款最先進的蝕刻機/asher設備，結合了高溫處理能力、先進的等離子體技術和優越的工藝控制，以滿足先進半導體制造應用的苛刻要求。MB2-730 HT-HT具有高性能、可靠性和工藝多功能性,是半導體制造設備優化設備性能和實現高產的重要工具。
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