二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT #9145482 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT是一種先進的預清洗蝕刻器/Asher,能夠獲得最佳的清洗效果,特別是在需要高溫的情況下。這臺機器配備了特殊的高溫晶片蝕刻工藝，使其能夠在高達700 ˚C的時間內運行。高溫晶片蝕刻工藝確保晶片去除傳統濕清洗方法無法清除的殘留物和汙染物，確保盡可能高的清潔度和精確度。該設備設有密封和屏蔽石英加工室，旨在保護操作員免受任何有害氣體的影響，並有助於確保蝕刻介質的清潔度。它還帶有一個矢量選項，用於蝕刻均勻薄層的一些最困難的基板。獨特的氣體入口系統允許用戶指定氣體濃度和方向，確保高溫蝕刻的完美條件。TEL MB2-730 HT-HT包括全方位的工藝參數，可以編程到單元中，以精確的重復性控制蝕刻過程。還包括動態反饋控制,以確保過程符合確切的規格。工藝參數包括時間、溫度、功率、氣體濃度和壓力，允許靈活和精確控制的蝕刻模式。這個單元設計有一個大的石英視口，允許在進程運行時檢查整個事件室內部。有許多附件，如光束轉向裝置、屏蔽聚焦透鏡、基板溫度傳感器以及各種氣體入口混合器和泵。這為用戶提供了對進程執行方式的更多控制,還有助於降低總體運行成本。TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT是一種用途廣泛且可靠的機器,非常適合在高溫蝕刻應用中獲得最佳效果。它是超清潔處理環境中不可或缺的工具。機器的高精度、高性能特性使其非常適合要求苛刻的蝕刻應用，如MEMS、顯示器制造和許多其他半導體工藝。