二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #293643024 待售

TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730
ID: 293643024
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
CVD System, 8" 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一款設計用於半導體和其他精密微電子市場的高性能蝕刻器/asher。該機由世界領先的先進半導體制造和工藝控制技術供應商之一TEL制造。TEL MB2-730利用了最先進的蝕刻和asher技術,該技術以使用高反應性化合物和基於等離子體的蝕刻技術為基礎。這使得能夠制作精確、微調的蝕刻圖案,用於各種應用。該機采用直觀、用戶友好的數字控制設備,能夠精確控制蝕刻和灰度輸出。TOKYO ELECTRON MB2-730還具有快速、安全的無維護操作功能,不會產生有毒氣體或微粒排放。MB2-730上的蝕刻和灰化過程由激光、電子束和電感耦合等離子體(ICP)組合完成,從而可以精確控制蝕刻過程。蝕刻室周圍的熱毯可確保整個蝕刻過程的溫度均勻,而激光驅動的快門也可確保系統的安全高效運行。TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730的ICP源和射頻發生器配備了高科技溫度控制儀,可實現最高300 °C的精確溫度讀數。這樣可以確保整個過程的溫度一致性,並可以精確控制蝕刻速率。外部氣體控制裝置便於調整蝕刻氣體的濃度和速率。TEL MB2-730還具有先進的損傷保護和工藝可追蹤性,進一步提高了其可靠性和精確度。它有一個可選的HEPA潔凈室過濾器,用於出色的凈化和保護蝕刻室和工藝環境。高級追蹤能力機器允許用戶在完成每個蝕刻過程後查看和檢查其狀態。此外,TOKYO ELECTRON MB2-730還配備了高分辨率監控器和高級控制接口,可以對蝕刻過程進行精確監控。顯示器還提供了易於訪問的計算機操作信息,可用於快速識別和解決過程中可能發生的錯誤。綜上所述,MB2-730是設計用於半導體和微電子工業的多功能蝕刻器/asher。它利用先進的蝕刻技術、精確的溫度控制、用戶友好的數字控制工具以及先進的損傷保護和工藝可追蹤性,成為微電子元件精密蝕刻和灰化的理想解決方案。
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