二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #293825814 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一種先進的蝕刻工具，設計用於制造高密度多氯聯苯和其他微電子器件。TEL MB2-730是一種高度可靠的多束單面等離子體蝕刻器，設計用於深層蝕刻加工。它具有先進的光學設計和13英寸的腔室，使其能夠處理高通量和精確蝕刻的大型基板。TOKYO ELECTRON MB2-730具有雙級等離子體技術,可提高蝕刻速率和出色的輪廓控制.這樣可以在大面積上實現高調精度,使其能夠制造功能小至0.3 um的PCB,蝕刻精度降至0.3 nm。該系統有5個室，主蝕刻室、預清潔室、後清潔室、前蝕刻室和後蝕刻室。這為蝕刻和精密過程控制提供了高精度。該系統還具有自動晶片索引和對齊功能，允許在蝕刻機中一致放置晶片。MB2-730利用多步驟過程來確保最高質量的蝕刻。首先，將基板暴露在預先清潔的過程中，以去除任何顆粒或表面汙染。接著是低溫高壓預蝕刻步驟，軟化表面並準備蝕刻過程。接著，在特殊氣體噴射器的輔助下，將高反應性的工藝氣體引入蝕刻室。在室內形成的等離子體然後將基板蝕刻到所需的規格。最後，根據所使用的蝕刻工藝，可以使用蝕刻後的清潔和降解工藝去除任何殘留物，使基材具有幹凈和均勻的表面光潔度。TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一種高度可靠和用戶友好的蝕刻工具，旨在滿足多氯聯苯的制造需求。它提供精確的蝕刻,具有出色的重復性和高吞吐量。此外，其用戶友好的機器人系統使得它容易納入任何制造生產線。TEL MB2-730具有先進的特點，是高密度電路板和組件制造的理想選擇。