二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9167961 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 Etcher/Asher是一種多室、單晶圓幹蝕刻系統，為各種先進材料提供超高蝕刻精度。它的兩個工藝室設有一個大的工藝窗口，允許最大的多功能性。通過中功率和高功率電感耦合等離子體源的結合，進一步提高了蝕刻步驟的利用率。蝕刻器/asher還具有原位清潔功能以及前沿、跟蹤控制的樣品階段。這樣可以提高單個和多層蝕刻過程的均勻性和重復性。該系統配備了多種安全儀器，使其符合人體工程學，操作方便。例如,操作員可以使用直觀的GUI通過觸摸面板顯示設置參數值,並且自動聯鎖系統可以保護系統免受火災和危險情況的影響。擁有2350 x 2390mm占地面積的TEL MB2-730可容納各種晶圓尺寸。它可以與晶片持有者一起使用，具有相當大的晶片加載靈活性以及精確和可重復性。該室的先進技術在同時蝕刻不同材料時具有很高的選擇性。它可以在運行蝕刻過程時達到40 nm的精度,在運行蝕刻和灰化過程時達到80 nm的精度。它還為在Si上制造的半導體器件、3D/2.5D集成系統和大型集成電路的蝕刻提供了理想的條件。TOKYO ELECTRON MB2-730旨在支持復合蝕刻、用於超低k介電蝕刻的RIE間隙填充以及包括金屬和介電層在內的大量沈積等工藝。多功能性、精確的過程、強大的源利用率和安全性只是這種可靠的蝕刻器/asher的幾個優點。因此,MB2-730 Etcher/Asher是所有先進材料蝕刻需求的理想選擇。