二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9395107 待售
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ID: 9395107
優質的: 2001
Metal CVD system, 8"
(3) Chambers
Control cabinet
No SMIF
Monitor
Monitor rack
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一種高精度的工業蝕刻器/asher，設計用於在一系列材料上產生高精度的蝕刻或灰化表面。蝕刻器/灰化器的最大吞吐量為每小時730個晶圓,每個晶圓接受均勻的蝕刻或灰分操作。該機配備精密等離子體源，能夠提供低至0.6µm或更低的蝕刻深度。該設備利用先進的壓力控制器對蝕刻過程進行精確控制，從而使蝕刻結果具有很高的精度。該系統采用高對比度蝕刻工藝，使蝕刻或灰化的表面高度可見，易於辨認。蝕刻器/asher還具有復雜的脈沖調制振蕩器單元，允許脈沖等離子體模式用於控制蝕刻過程。TEL MB2-730還配備了高級閉環控制機器,確保蝕刻或灰燼滿足特定應用程序的嚴格要求。這些系統支持各種基板，包括矽、石英、玻璃和金屬。該工具還支持聚合物、磁道和金屬化的沈積。該資產與一系列工具和材料設計高度兼容,有助於提高生產效率和降低工藝成本。此外,集成的清潔過程允許在蝕刻和灰化操作之間進行高效清潔,從而獲得一致的批處理結果。該蝕刻器/asher設計為最大的安全性和易於處理。它具有許多保護人員和材料的安全功能。該型號配備了熱敏傳感器、超聲波傳感器和光學傳感器，以監測過程並確保安全運行。該機還設計用於自動遠程操作，便於機器的設置和操作。TOKYO ELECTRON MB2-730是各種蝕刻和灰化操作的理想選擇，提供精確蝕刻和灰化到0.6微米。該機配備了精選的高精度控制特性，以及統一的清洗工藝，以達到一致的效果。它的安全特性提供了多種級別的保護,以防止可能發生的事故。最後，它的遠程操作和自動化設置使得它成為一個簡單的選項，任何蝕刻和灰化的需要。
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