二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9398831 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一種高級蝕刻器，專門為等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）應用而設計。該蝕刻器非常適合需要精確控制蝕刻過程中使用的氟和硫前體的操作。設備包括一個氣箱、兩個相互連接的石英室和一個負載鎖室。它還包括帶有晶圓轉移的負載鎖和高真空泵送封裝，使其達到低於6 mTorr的底壓。TEL MB2-730配備了TEL專有的Advanced Plasma Source （APS），具有高效、低噪聲的等離子體多通道配置。該系統可以精確控制精確的沈積參數，產生質量最高的產品。它還設計用於可重現和均勻的蝕刻工藝。它能夠蝕刻各種基材，如矽片、薄膜和無定形玻璃。TOKYO ELECTRON MB2-730采用混合氣體控制單元，其中包括氣體混合箱、混合室和高流量渦輪泵包。這種配置使用戶可以靈活地定義蝕刻氣體的精確組成，使他們能夠精確地定制蝕刻過程。該機還包括一個石英晶體監視器（QCM），允許準確控制沈積過程。MB2-730是為可靠的長期性能而設計的。該工具具有自我診斷功能,允許用戶預測任何潛在的維護需求,以及自動清潔周期,以減少維護時間和工作量。此外，資產還包括過壓警報和溫度限制等安全功能，以確保操作員的安全。總之，TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730是一種先進的蝕刻器，非常適合需要精確控制PECVD工藝中使用的氟和硫前體的操作。它配備了TOKYO ELECTRON專有的Advanced Plasma Source（Advanced Plasma Source，APS）和混合氣體控制模型，為用戶提供了根據需要精確定制蝕刻工藝的靈活性。TEL MB2-730還包括過壓報警器和溫度限制等安全功能,以及自我診斷設備,使其成為蝕刻應用的可靠安全選項。