二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730HT #9145481 待售

TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730HT
ID: 9145481
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
CVD System, 8" (3) Chambers WSi Process 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730HT是一種高效可靠的蝕刻器/asher。它是一個CMOS/BiCMOS蝕刻器,Asher和應力緩解系統,能夠在先進材料的惡劣條件下進行高質量的加工。該系統設計用於先進的半導體制造,利用基於等離子體的蝕刻和沈積技術生產優質的零部件。該系統將高速性能與精確度和靈活性相結合,從而實現了復雜產品的高產率。此蝕刻器/asher具有先進的等離子體產生的電源,該電源由激光監控以進行過程控制,為蝕刻和灰化提供了統一的環境。此單元具有易於使用的觸摸屏界面,可進行直觀操作。該裝置也適用於批量加工,利用鎢隔熱室技術進行精確的溫度控制,以確保成功的蝕刻/灰分處理。TEL MB2-730HT還具有三重氣源,允許過程變化,如深層反應性蝕刻、毯層沈積和通罩去除。其先進的華夫餅板設計減少了加工過程中的蝕刻時間和基板損傷。它還配備了板載薄膜厚度監測器和探測器,允許以最小的用戶幹預來進行精確的過程控制。TOKYO ELECTRON MB2-730HT是一種可靠、多用途、高效的蝕刻器/asher,能夠生產優質零件,同時保持較低的操作成本和最小的底物損壞。它旨在與多種工藝化學和底物兼容,從而在制造各種復雜產品時具有最大的工藝靈活性。這個單元被評定為半自動操作,允許重復生產,很少有用戶幹預。MB2-730HT可用於各種半導體制造應用,從高性能邏輯和內存模塊到光學元件和高級封裝。
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