二手 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #293594208 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II是一種高度先進、最先進的蝕刻器/asher。它由TEL開發制造，在工業上有廣泛的應用和用途。TEL ME-450II是一種直接的等離子體蝕刻設備，具有多腔室設計，為用戶提供了一個穩定一致的圖樣和蝕刻環境。該系統的腔室針對矽的蝕刻進行了優化，矽是電子工業中最常用的基板。也適用於其他材料，如玻璃和石英。TOKYO ELECTRON ME-450II利用優化的多波長等離子體源提供高蝕刻速率、大的工藝窗口和卓越的選擇性。該裝置的高等離子體密度、低底物充電、優越的滯後控制，使得在廣泛的底物和薄膜上具有優越的蝕刻性能。該機的腔室設計利用多種來源和蝕刻氣體，以最大程度地提高加工靈活性。ME-450II標配固定陰極、圓柱形陰極和平面電極,用於各種工藝流程,包括反應性離子蝕刻（RIE）。平面電極可用於將交流或脈沖直流功率劃入基板，以獲得更好的模式保真度。此外，該工具的自動氣體輸送和控制允許統一的氣體使用和整個過程控制。TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II還包括各種雜項工具和功能,以確保良好的工藝性能和產量。這種特性的例子是自動基板定位器和低反射基板支架。TEL ME-450II還利用耐用的陶瓷工程材料來最大限度地減少停機時間和優化維護。TOKYO ELECTRON ME-450II配備了多種警報器和安全功能，確保人員安全和工藝穩定性。提供實時診斷,使用戶能夠在不停止資產的情況下快速監視和修改流程。ME-450II的設計易於融入現有的生產環境,並且與各種基材和薄膜兼容,使得生產模式的設置相對較快且易於使用。綜上所述，工程和軟件的進步以及獨特的蝕刻源和氣流控制的結合，使得TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II一個理想的圖樣和蝕刻工具。其先進的特點，加上其多腔室設計和相關的工藝工具，確保了可重復、可靠和高質量的結果。