二手 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #9083622 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II是一款功能齊全的蝕刻器/asher，專為半導體行業的大批量管線加工而設計。該設備可實現快速蝕刻和灰化過程,而無需移動晶片。它采用先進的多維評估系統構建,可以精確調整多個工藝參數,從而實現高吞吐量生產。該單元配備了大容量的晶片裝載機和卸載機，能夠處理直徑達200毫米的晶片。它還能夠在整個表面積上掃描200毫米晶片,分辨率為5nm。這種掃描機允許高精度的過程控制，允許精確調整蝕刻/灰化過程。TEL ME-450II能夠進行雙面蝕刻/灰化,確保晶圓兩側的表面光潔度均勻。它還包含了一些旨在最大限度地減少缺陷的功能,包括內置的自動調平工具、架子式腔室和自動、精確對準資產。在工藝參數方面，TOKYO ELECTRON ME-450II能夠以可重復精度處理簡單復雜的蝕刻/灰化配方。根據配置的不同,它可以管理低至5nm/min、高至400nm/min的蝕刻速率。該模型還具有控制多個氣體進料通道的能力,最高溫度範圍可達1400 °C,使用戶可以完全控制蝕刻或灰化溫度。ME-450II還配備了強大的真空泵送設備，泵送超時時間低至10秒。它還具有先進的監測功能，以提醒用戶註意程序不規範之處。此功能允許快速識別任何違規行為,允許用戶及時采取糾正措施以確保連續、高質量的生產。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II還擁有一個全面的軟件包，旨在最大限度地為用戶提供便利。此軟件包包括用於存儲配方信息的數據庫、用於優化配方的工具以及集成的流程控制功能。該軟件包還具有用戶友好的GUI,可以快速操作配方和快速分析串行數據。總體而言,TEL ME-450II是一款功能齊全的蝕刻器/asher,可提供卓越的吞吐量和過程控制。它是一種可靠、通用的工具，非常適合半導體工業中大量生產晶圓。