二手 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #9192884 待售
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ID: 9192884
優質的: 1999
Dry etcher
Gas box
Glass size: 370 x 470 mm
(2) Chambers
Indexer
Monitor rack
Main rack
Chamber pump
Loadlock
Rear block
P/C-R
P/C-L
(2) Regulator boxes
Loadlock pump
P/C-R Pump
P/C-L Pump
Turbo controller rack
P/C-R Chiller
P/C-L Chiller
(2) UPS
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II是一種高端精密蝕刻工具,專為生產定制、錯綜復雜的表面而設計。這臺機器非常適合制造微電子器件，在那裏需要精確的細節水平。它采用兩步蝕刻的方法--首先將化學氣相沈積（CVD）層應用於目標材料。然後使用激光束將所需的圖樣跟蹤到CVD層，在基板上創建永久蝕刻圖樣。TEL ME-450II具有很高的精度,即使對於復雜的模式也是可以實現的。其三維範圍可達0.3mm,最小線寬為0.8microns。通過使用專有的CVD工藝,可以實現對極均勻表面的蝕刻。該系統還具有非凡的位置精度-在X、Y和Z軸上可達± 0.02mm,以確保完美的可重復性和最佳的結果。此外,TOKYO ELECTRON ME-450II比傳統蝕刻技術節省了大量時間。其自行頭有助於加快蝕刻過程，而專用控制器讓用戶可以方便地為不同的蝕刻作業設置參數。此外，它還具有先進的標準化功能，為預置蝕刻工藝提供了一種快速簡便的方法。此工具還具有高級安全功能。它有一個包括激光安全快門的緊湊設計，在門打開時阻擋光束。它還有一個緊急停止按鈕，在發生意外時迅速切斷激光電源。此外，它的指示燈在激光活動時點亮，確保安全運作，並有助於防止任何問題或傷害。總體而言,ME-450II是一種功能強大且可靠的蝕刻工具。其先進的精確度和特點的組合，使得復雜的圖樣的容易和高效的蝕刻，理想的微電子生產。它的安全特性提供了安心，節省時間的優勢使得它成為一個經濟實惠的選擇。這種蝕刻工具是任何一家尋求極精確蝕刻工具的公司的絕佳選擇。
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