二手 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #9267385 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II是一種蝕刻/asher機器，設計用於在半導體器件中提供可靠的蝕刻/灰分工藝。它是一臺最先進的機器，配備了最新的技術。它能夠在低溫、高精度和高吞吐量下執行過程。該機配備了高分辨率成像設備，可實現高精度成像。它提供實時反饋，可以快速調整參數。它能夠在各種材料上進行蝕刻/灰分處理，如薄電介質、聚酰亞胺、二氧化矽和其他各種基材。此外，它還支持各種蝕刻/灰分工藝化學方法。TEL ME-450II具有用戶友好的界面,需要最少的設置和維護。由於具有自動平衡功能,即使高度和表面地形不斷變化,它也能夠準確一致地工作。自動平衡功能允許用戶根據基板、表面紋理、材料類型和高度為每個作業設置蝕刻參數。該機器有一個集成的、經過良好驗證的過程控制系統（PCS）,可確保蝕刻/灰分過程的準確性。該單元包括蝕刻均勻控制機、溫控工具和壓力控制資產。PCS允許用戶實時監視和控制每個蝕刻/灰分過程的參數。這使用戶能夠實現每一次的最佳結果。此外，TOKYO ELECTRON ME-450II擁有先進的等離子體過程控制技術，簡稱TEL-MPT（多路徑調諧）技術。這項技術結合使用兩條獨立的蝕刻路徑，對每條路徑使用不同的壓力、溫度和射頻功率水平。多路徑調諧技術使用戶能夠獲得精確的蝕刻/灰分結果。ME-450II是一臺先進的蝕刻器/asher機器,它結合了最新的技術,在執行蝕刻/灰分過程時可實現最高的精度和準確性。它是用於半導體器件制造的可靠工具,即使高度和表面地形不斷變化,也能夠執行各種蝕刻/灰分工藝。