二手 TEL / TOKYO ELECTRON ME-600P2 / ME-600IR #9382344 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ME-600P2/ ME-600IR是一種蝕刻器/asher，設計用於對多種材料進行精密蝕刻和灰化，包括矽、石英、砷化氙、氮化氙、銅、鋁、鈦、鎢和鋼。TEL ME-600P2/ ME-600IR具有先進的粗細處理模塊,能夠同時處理多達12個晶片,總處理面積可達1,310平方厘米。它還配備了一個獨立可控的石英爐，允許溫度高達1,350 °C，並提供高水平的工藝穩定性。獨特的Auto Slope Technology允許不斷更新蝕刻輪廓,以實現均勻的蝕刻/灰分深度,同時改進的監視器晶片加載和卸載系統可確保操作方便。該ME-600P2采用了13種不同的等離子體氣源（氦氣、氙氣、六氟化硫、四氟化碳、氟化氫、氧氣、氮氣、氨、矽、矽氧烷氫氣、硼烷氫氣、氯氣和三氟化硼），從而實現了廣泛的蝕刻和灰化過程，而一個單一的底物底物可以進行柔性蝕刻/灰分轉移。這種蝕刻器/asher也可以很容易地集成到自動化系統中，使其成為復雜、大批量生產的理想之選。此外，ME-600IR還增加了一系列紅外燈，可用於灰化/幹燥過程。TOKYO ELECTRON ME-600P2/ ME-600IR是微電子和半導體制造等精密行業廣泛蝕刻和灰化應用的絕佳解決方案。憑借其先進的特點和出色的工藝穩定性，它是在處理時間最短的情況下實現高質量成果的理想選擇。