二手 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Tornado 300 #9298719 待售

TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Tornado 300是一款先進的蝕刻器/asher，設計用於半導體晶片生產中的精確、高性能應用。TEL Tornado 300設備是一種高吞吐量蝕刻系統,它將高速與高吞吐量結合在一起,並具有最大質量等級。NEXX Tornado 300采用了能夠在受控環境中提供高功率密度以形成最先進特征的工藝室。該工藝室采用全陶瓷材料建造，先進的多氣體輸送裝置采用了最新的高速、整合式充氣和高精度惰性氣體引入組件。TOKYO ELECTRON TORNADO 300的先進半導體過程控制機允許在廣泛的蝕刻過程中快速的性能。蝕刻室效率高，循環時間令人印象深刻，為15秒。這個循環時間有助於減少晶圓對晶圓的變化，並通過快速循環時間提供高超的準時生產。此蝕刻工具還具有創新的射頻電源以及過程控制器。射頻電源可確保穩定的工藝流程,並提供卓越的均勻性和可控制的功率級別。射頻控制器提供精確的過程控制參數,可實現高精度循環時間控制。該資產還具有先進的可編程過程控制器，可提供精確和靈活的編程功能，如可調節溫度、壓力和過程參數。該模型還可以很容易地編程為高精度的過程控制參數。其同步多振蕩器模式有助於在整個晶片表面保持均勻性。龍卷風300以最小的維護提供卓越的性能，其先進的氣體輸送設備在蝕刻作業中優化氣流以達到最大效率和均勻性。先進的氣體供應支持廣泛的氣體，可以很容易地適應各種過程。系統使用幹式和濕式蝕刻方法來滿足客戶的需求。TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Tornado 300是一種可靠且功能強大的蝕刻/asher解決方案,有助於提高晶圓產量、加工時間和工藝性能。這一單元是高度可配置的一系列蝕刻和灰化的要求，使其成為一個理想的選擇半導體行業。