二手 TEL / TOKYO ELECTRON RLSA #293589548 待售

TEL/TOKYO ELECTRON RLSA是一種電腦化蝕刻器，通稱為asher。設備的主要部件包括基板支架、控制器、反應室和工藝室，均由Windows 7 OS. TEL RLSA蝕刻器操作，具有同時蝕刻單面和雙面基板的能力。它可以蝕刻金屬，包括鋁、銅和鎢等，以及陶瓷和石英基板。它可以用來蝕刻痕跡、vias和墊等特征，以及高精度的孔、槽和腔。控制器由一個微處理器和可編程系統組成，允許對每個蝕刻過程進行精確設置。該工藝室是一個封閉的真空密閉區域，容納反應室和底物支架。反應室由連接到真空室的反應管、氣體分配單元和一組固定裝置組成。真空室用於提供低壓環境，氣體分配機用於在蝕刻過程中使用的氣體中添加。反應管用清潔溶液填充，基板支架牢固地固定工件。該控制器用於設置蝕刻工藝參數，如時間、氣體流量、壓力、溫度和電壓。控制器還與Windows 7 OS共享蝕刻數據，允許用戶對蝕刻過程進行編程，並與TOKYO ELECTRON RLSA蝕刻器進行交互。此外，它還實現了噴嘴自動清洗和晶圓驗證，使操作員能夠輕松查看蝕刻過程結果。綜上所述，RLSA是一種用途廣泛的蝕刻器，能夠精確地蝕刻金屬、陶瓷和石英基板。它易於通過Windows 7操作系統進行編程和交互,包括噴嘴清潔和晶圓驗證等功能,以提高精度。