二手 TEL / TOKYO ELECTRON RLSA #293598577 待售

TEL/TOKYO ELECTRON RLSA是一種同時使用反應性離子蝕刻（RIE）和等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）技術在材料表面上產生圖樣的蝕刻器/灰化器。這一工藝適用於生產許多不同的材料，從柔性聚合物到硬質結晶材料不等。它的工作原理是首先將蝕刻材料薄膜塗在所需的蝕刻區域。塗膜後產生蝕刻等離子體，將表面材料直接溶解在其下方，並將蝕刻材料轉移到基板上。此外，PECVD工藝用各種前體對聚合物和其他材料進行化學蝕刻，從而在表面形成圖案。TEL RLSA是為材料的高精度蝕刻而設計的高度先進的蝕刻器/asher。它采用精細、高分辨率的線性掃描,允許用戶選擇理想的蝕刻速度和二維分辨率。此外，TOKYO ELECTRON RLSA還提供一系列功能，以提供材料的最佳蝕刻，包括計算機、視頻顯示器和手動手臂定位設備。RLSA利用內置射頻發電機提供的軟件控制射頻電源,能夠用一個可曝光的薄膜掃過整個區域。再者，由於多個程式可以儲存在系統的記憶體上，使用者可以很容易地回憶和選擇不同蝕刻用途的特定程式，使得TEL/TOKYO ELECTRON RLSA成為一種通用的蝕刻機。在安全方面，TEL RLSA納入了幾項措施，以保護用戶免受蝕刻過程中使用的危險化學品和顆粒的侵害。例如,對自動間隙單元進行編程以保持蝕刻表面和刀尖之間的安全間隙,從而確保安全且無危險的工作環境。此外，TOKYO ELECTRON RLSA還配備了排氣處理、化學分配系統和緊急關閉等所有必要的安全特性，以保證用戶操作機器時的安全。總體而言,RLSA是一種用戶友好且精確的蝕刻器/asher,用於在材料表面上創建各種形狀和圖案。憑借其精確的掃描工具和豐富的安全功能，TEL/TOKYO ELECTRON RLSA是一款理想的機器，可以幫助用戶以最高的精度達到自己想要的圖案和形狀。