二手 TEL / TOKYO ELECTRON RLSA #9270938 待售

TEL/TOKYO ELECTRON RLSA，又稱蝕刻器或灰化器，是一種高度先進的灰化設備，使用低溫等離子體系統蝕刻電子顯微鏡的樣品，如掃描隧道和場發射顯微鏡。該單元由TEL Technology Co., Ltd.開發,與其他類型的ashing系統相比具有許多明顯的優勢。TEL RLSA是一種高級幹式蝕刻劑，使用兩種等離子體進行蝕刻，分別是正離子束（PIB）和負離子束（NIB）。其PIB用於底物清洗，比傳統的灰化方法能提供更精細的蝕刻；而其NIB用於材料的功能和結構變化，如沈積和外延。這使得TOKYO ELECTRON RLSA以更高的精確度實現精密蝕刻。RLSA使用特殊的基板，例如具有敏感石英窗口的流體兼容基板，在樣品上蝕刻極小的特征。窗口靈敏度高，可以精確控制，讓用戶對蝕刻過程有更大的控制，達到更高精度的效果。此外，TEL/TOKYO ELECTRON RLSA還有一個先進的控制機器，使用戶能夠根據結果監測蝕刻進度和微調蝕刻條件。這種提高的準確性和控制使用戶能夠實現各種結構和模式而沒有缺陷。TEL RLSA最大的優點之一是效率高，由於其低溫等離子體工具和效率，能夠比傳統的灰化系統蝕刻更多種類的材料。這允許用戶更精確地蝕刻金屬、氧化物和平面基板。TOKYO ELECTRON RLSA也是高度安全可靠的，用於潔凈室環境蝕刻細膩材料。此外，它還非常容易操作，控制資產中包含了人性化的組件，讓用戶即使沒有技術專長也能輕松控制蝕刻條件。總體而言，RLSA是一個先進的蝕刻模型，由於其低溫等離子體設備、高效的基板處理和高精度的控制系統，提供精確準確的結果。這使得該單元非常適合在現場發射和掃描隧道顯微鏡應用中蝕刻各種樣品。