二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM JIN #9038421 待售

ID: 9038421
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Etcher, 12" 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON SCCM JIN是一種利用等離子體增強化學氣相沈積技術的蝕刻器/灰化器,為定制蝕刻材料的形成提供了優異的效果。TEL SCCM JIN的高級控制器使用戶能夠調整蝕刻速率、溫度和圖案以產生所需的結果。它提供了通用、精確的蝕刻/散列功能,使用戶能夠在嚴格的公差範圍內生成自定義蝕刻。TOKYO ELECTRON SCCM JIN利用一個可容納高達300 cc蝕刻/散列材料的加工室,並使用蝕刻/散列氣體,如CF4、O2、Ar或H2。腔室壓力是可調的,允許用戶自定義蝕刻/散列過程。腔室配有上下遊波紋管,允許在蝕刻/散列過程中腔內壓力增加。SCCM JIN利用基板加熱器有效、準確地加熱基板材料,而不會出現斷裂或不均勻加熱的風險。加工氣體和數值控制發射器使用戶能夠調整蝕刻速率、溫度和模式,以實現可定制的蝕刻/散列。TEL/TOKYO ELECTRON SCCM JIN使用順序源驅動技術精確切入金屬基材。它不能移植均勻的波形發生器,該發生器可精確控制蝕刻/散列過程。TEL SCCM JIN使用E-Beam Etcher,它允許用戶使用激光和離子束方法放下比傳統蝕刻/散列更小的特征尺寸。它提供了出色的模式可重復性和準確性,使用戶能夠為自定義應用程序生成復雜的蝕刻/散列模式。該系統使用遠程監視器,一次最多可存儲和跟蹤30個實驗的結果。此外,TOKYO ELECTRON SCCM JIN還提供可選的軟件模塊,可實時監控蝕刻速率、溫度和蝕刻模式。綜上所述,SCCM JIN是一款具有卓越蝕刻/散列解決方案的蝕刻器/Asher,它提供多用途和精確的功能,具有出色的重復性和準確性。它利用多個工藝室、波紋管和發電機、電子束蝕刻器和遠程監視器,使用戶能夠蝕刻/散列定制材料,並獲得最佳效果。
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