二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #293705863 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一種半導體蝕刻器/asher設備，設計用於半導體蝕刻和灰化領域的先進應用。該系統由一個中央控制單元組成,控制所有組件。這些部件包括中央處理器單元（CPU）、示波器、真空室、Ashing室、晶圓映射機、加熱氣體工具和晶圓傳輸資產。此型號中的CPU單元負責控制設備中的所有其他組件。這意味著,負責接收、解釋和執行用戶通過計算機界面發送的命令。它還從確定蝕刻和灰化過程的傳感器和參數中讀取數據。這些參數是借助用戶友好的圖形菜單輸入到軟件中的。然後在軟件中存儲和處理所有必需的數據。示波器充當CPU和系統其他組件之間的接口。它負責顯示單元中各種部件如真空室或加熱氣體機的參數和讀數。TEL SCCM Shin的真空室充當容器，以容納進行蝕刻/灰化過程的環境。根據所需工藝的類型，該腔室可配置為在其中產生不同級別的真空和/或大氣。工具的Ashing Chamber負責去除半導體晶圓上不需要的層，由一個腔室和一個供氣資產組成。該腔室包含一個用於將氣體加熱到所需溫度的加熱器。然後將氣體註入腔室，並進行去除晶片上不需要的層的過程。TOKYO ELECTRON SCCM Shin的晶圓映射模型由光束映射設備和晶圓傳輸系統組成，使晶圓能夠被精確地映射和精確地傳輸到真空室和/或灰燼室中。這對於確保蝕刻或灰化過程的準確性至關重要。機器的加熱氣體單元被設計為向腔室提供持續的供熱和/或冷卻氣體，如氮氣、氧氣或氙氣。這使工具能夠更快、更精確地執行流程。最後，設計了SCCM Shin晶片傳輸資產，以精確、精確的方式將晶片送入和送出腔室。這個傳輸模型由一個線性電動機組成，用來控制晶圓的精確運動，並被安置在一個平行安裝的導軌中。綜上所述，TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一種高度先進的蝕刻和灰化設備，用於半導體晶片。它的各個組成部分分別處理系統中的特定任務,從而實現精確和精確的蝕刻和灰化結果。