二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9235174 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一種蝕刻器/asher（又稱等離子體蝕刻機），旨在為各種材料的微細製造提供高度精確且具成本效益的工藝。它能夠處理廣泛的材料，包括不銹鋼、鎢、鈷、鋁、石英和矽。該系統采用等離子體蝕刻技術，利用高能等離子體從晶圓表面剝離材料，采用集成銑削工藝，采用專門設計的機頭來定義各種形狀。TEL SCCM Shin有一個大板，可以容納直徑達200毫米、厚度達1.5毫米的晶圓。然後將盤子固定在一個較低的盤子上，然後加熱。一個計算機化的系統允許對過程進行精確的控制。蝕刻過程啟動，晶圓受到位於蝕刻室的電感產生的脈沖磁場。該場力與原料等離子體相互作用，在晶圓表面上形成聚焦蝕刻圖樣。蝕刻室配備了幾個安全特性，包括內部真空、氮氣和深層真空。當等離子體蝕刻過程進行時，用視覺和紅外傳感器監控晶片，以確保蝕刻過程均勻。蝕刻過程完成後,將執行特殊的銑削過程。銑削過程使用專門的銑削頭執行,該銑削頭高速旋轉,沿著預定輪廓切割晶片。銑削過程用於在晶片中創建通道或其他特征。最後,該零件準備好進行檢查和包裝。檢查過程通過專門的顯微鏡進行，能夠識別最終產品中的裂紋、劃痕和其他缺陷。如果檢測到這些問題中的任何一個,則可以在運輸前修復這些問題。然後可以將部件打包並發送到其最終目的地。總體而言，TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一種可靠且經濟實惠的微細加工工藝系統。它旨在提供高度的精確度和精確度，同時仍然易於操作和維護。此外,它的內置安全功能確保在安全、受控的環境中進行該過程。