二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9235178 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一款針對先進技術半導體制造工藝而設計的高性能蝕刻器/asher。它支持範圍廣泛的晶圓尺寸（從5英寸晶圓到150毫米不等），能夠應付幹式和濕式蝕刻工藝的要求，提供快速可靠的結果。該設備設計小巧,易於使用,具有彩色觸摸屏顯示屏。它具有模塊化的體系結構,使系統適應和擴展以適應不斷變化的客戶需求變得簡單。它配備了大陣列的加工室和內部氣體管線，使其可以很容易地配置同時具有單步/多步蝕刻配方。TEL SCCM Shin另外配備了基於反應性離子蝕刻（RIE）原理的腔室清洗單元。這臺機器使用由壓縮氣體組成的高度加速的等離子束，在不影響晶圓結構化表面的情況下，有效清除腔室內部的汙染。該工具還具有多種選擇，例如用於控制工藝溫度的熱電偶監測儀、用於檢測微粒水平的CP-MS檢測器和用於現場精確測量晶圓厚度的高靈敏度微米。此外，它還可以配置特殊的加熱和冷卻結構，以優化過程控制。TOKYO ELECTRON SCCM Shin能夠在廣泛的過程中提供高均勻性，包括基於HF的蝕刻、CMP、薄膜蝕刻和反應性離子蝕刻。它可靠高效，是制造先進技術半導體器件的理想選擇。