二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9238870 待售

TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin
ID: 9238870
Dry etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是半導體和平板顯示器制造企業使用的一種蝕刻器/asher。它是一款具有高生產率和卓越性能的設備,為用戶提供獨特的可用性。TEL SCCM Shin設有一個CCS(封閉式腔室系統)腔室,用於將過程中的有害物質與蝕刻器內部隔開。這樣可以確保安全的工作環境,同時減少氣味和產生顆粒。此外,其獲得專利的雙壓板設計可實現最高的制造效率。TOKYO ELECTRON SCCM Shin配備了兩個獨立的壓板系統,使其適合在大量晶圓上進行蝕刻操作。它可以在一次操作中同時處理多達九個晶片,提高工藝產量和吞吐量。該單元還通過提供可選的基板如矽片、後金屬化基板和耐塗層基板,提供了多種工藝靈活性。再者,該機具有節能模式,使其在非活動期間和閑置時間可以降低功耗。SCCM Shin蝕刻器有一個晶圓運輸工具,有兩個獨立的臂,一個用於進料,一個用於裝載。這使基板的快速轉換成為可能,並使單個工具可用於處理具有較短晶圓轉換時間的生產和測試晶圓。該資產還配備了自動卡帶更換器,一次最多存儲16個晶圓,使操作員免於手動裝卸操作。蝕刻器/asher也是用戶友好的,它以最小的維護提供了簡化的操作。其設計方便融入現有生產線,適用於遠程運營和現場支持。此外,TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin符合SEMI標準,能夠傳輸數據並與其他制造系統(如自動化平臺服務器)共享數據。這使得監控生產統計數據變得簡單,使用戶能夠提高整個生產過程的效率。綜上所述,TEL SCCM Shin 蝕刻器/asher是一款在用戶心目中設計的高性能車型。它提供了極好的工藝靈活性,允許用戶快速更換基板並降低工藝產量和吞吐量。此外,其用戶友好的設計使其易於集成到現有生產線中,並符合SEMI標準,從而實現了有效的數據共享和數據傳輸。總體而言,TOKYO ELECTRON SCCM Shin是提高半導體和平板顯示器制造商生產率和確保安全性的完美工具。
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