二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9241291 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一款蝕刻器/asher，設計用於將光掩模批處理與等離子體蝕刻相結合，生產高質量、低成本的微電子器件。這項先進技術允許在單個機器中生產高度復雜的設備結構。結果是產量最佳，材料成本低，周期時間長。TEL SCCM Shin通過將晶片暴露於反應性離子蝕刻劑來運作，然後將其沈積在晶片上。這一過程是分批進行的，能夠以高精度和可重復性控制復雜特征的蝕刻。此外,該機器還配備了一臺板載計算機,可輕松調整諸如壓力、功率和蝕刻體積等蝕刻參數,使操作員能夠定制蝕刻過程以滿足其特定需求。TOKYO ELECTRON SCCM Shin的精確度使其成為產生高解析度特徵的理想選擇。蝕刻深度和寬度均可調節，範圍為0.5-25。因此，它可以用來創建小至0.5微米的幾何形狀和通道。等離子體蝕刻過程的高精度和重復性確保了復雜的特征即使在不同的晶片批次下也能被精確地復制。SCCM Shin也可用作asher。這包括將晶片表面均勻地暴露於可用於氧化晶片表面以改善其電特性的受控劑量的氧中。此外，TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin的設計確保了最小的汙染和交叉汙染。這使得即使在超靈敏微電子應用中也能可靠的設備生產。TEL SCCM Shin是生產高品質微電子器件的經濟高效的解決方案。它具有易於使用的圖形界面,用戶友好,吞吐量高,並帶有存儲蝕刻參數的集成數據庫。此外，它還支持多種基材材料，使其成為一種用途廣泛且可靠的蝕刻器/灰化器。