二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9261824 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一種用於半導體和復合半導體制造工藝的蝕刻器/asher設備。它旨在精確控制薄金屬層的沈積和蝕刻，是切割復雜形狀和制造各種納米結構的理想之選。這個蝕刻器/asher系統是一系列研究應用的理想選擇，例如微電子和納米電子、微流體、光伏、光電子學和生物學。TEL SCCM Shin是一個氣體驅動的蝕刻器/asher單元，包括一個帶多個氣體入口的淋浴頭和一個精確的控制機器。其主要部件為淋浴頭、溫控蝕刻室、進氣管線和幹氣噴射工具。淋浴頭由多個氣體入口組成，可引入不同氣體在不同溫度下進行蝕刻或灰化，從而提供精確的溫度控制。淋浴頭被惰性大氣室包圍，以防止底物和氣體之間發生反應。溫控蝕刻室的設計提供了極好的均勻性和穩定性。它配備了允許引入各種氣體的入口線，使蝕刻器/asher提供了廣泛的蝕刻和Ashing效果。蝕刻器/粉碎器資產還具有幹氣模型（DGS）和噴射器設備（ES）。DGS設計用於快速將金屬層沈積在基板上,同時具有石英和鎢電極,可選擇最多使用四個電極。ES用於蝕刻薄膜，允許精細目標蝕刻和離子束蝕刻。它配備了高頻發電機、蝕刻槍和基板支架。TOKYO ELECTRON SCCM Shin 蝕刻器/asher系統能夠以高精度和優異的均勻性蝕刻和沈積金屬層。它也可用於對各種具有高精度蝕刻特征的基板進行圖案化。這個單元用途極為廣泛，可用於各種應用，使其成為半導體和復合半導體制造應用研究人員的理想選擇。