二手 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9409053 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin是一種高級蝕刻器或asher，為實驗室和研究機構提供精密的現場蝕刻和灰化能力。該設備旨在提供準確、可重現的蝕刻工藝，可用於半導體器件制造的各種應用。TEL SCCM Shin在精度和可靠性方面配備了廣泛的功能。該系統有一個可控的加熱平臺，允許精確的基板溫度和大氣控制，以及容易進入裝載基板。它還具有一個直觀的用戶界面,可實現快速參數設置和過程監控。先進的工藝控制單元（ACS）可實現精確的蝕刻工藝控制和參數設置,與濕法和幹法蝕刻工藝兼容。此外,TOKYO ELECTRON SCCM Shin還配備了自動氣流機,便於氣體加載,消除壓力和溫度誤差。該工具還配備了冷卻裝置，確保最佳冷卻蝕刻室及其環境。氣流和冷卻系統都由獨立的閉環控制器控制，提供精確的溫度和壓力控制。對於自動化,資產支持在最多三個單獨的負載鎖上的多個（最多十個）反應。該模型還提供了蝕刻速率的現場測量，利用激光幹涉測量法測量每個樣品三點的蝕刻深度。這為蝕刻過程控制提供了準確的實時反饋。此外，該設備還配備了一個原位殘留物/重結晶探測器，可對蝕刻速率進行原位監測，並在蝕刻過程中檢測任何殘留物或重結晶。SCCM Shin是一種單室垂直蝕刻器/asher系統,專為工藝產量和可靠性而設計。它提供出色的過程控制、靈活性和自動化,使其成為蝕刻和灰化應用程序的絕佳選擇。
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